橡膠空氣彈簧技術(shù)領(lǐng)域的核心技術(shù)
橡膠空氣彈簧自然環(huán)境振動(dòng)早已成為了制約械加工設(shè)備和檢測(cè)儀器度和特點(diǎn)提升的主要要素。尤其是以步進(jìn)電掃描儀光刻技術(shù)為代表的集成電路工藝電子器件生產(chǎn)設(shè)備，技術(shù)性抗壓強(qiáng)度和復(fù)雜性高，橡膠空氣彈簧重要性能參數(shù)做到了原來(lái)工藝的，意味著了械加工的較高設(shè)備。
橡膠空氣彈簧高減震已變成此類(lèi)設(shè)備的關(guān)鍵核心技術(shù)；步進(jìn)電掃描儀光刻技術(shù)線(xiàn)距已做到22nm及以下，圓晶精度級(jí)別和疊合度做到數(shù)技術(shù)，商品工件臺(tái)速度做到lm/s以上，商品工件臺(tái)瞬時(shí)速度做到重力加速度的幾十倍，對(duì)原有的橡膠空氣彈簧振動(dòng)明確提出了新的挑戰(zhàn)隔離技術(shù)。與此同時(shí)還推動(dòng)商品工件操作臺(tái)迅速、高瞬時(shí)速度移動(dòng)，這對(duì)減震減振特點(diǎn)明確提出了為嚴(yán)苛的規(guī)定。
三個(gè)方位的共振頻率都在1Hz以下，光刻技術(shù)各部件之間相對(duì)位置，如光刻技術(shù)測(cè)微目鏡與單晶硅片表層的間距，都是有十分嚴(yán)謹(jǐn)?shù)囊?guī)定，處于關(guān)閉的位置環(huán)中。在反饋意見(jiàn)自動(dòng)控制的操縱下，規(guī)定橡膠空氣彈簧上下安裝板中間的相對(duì)位置度做到數(shù)量，而傳統(tǒng)化的精度遠(yuǎn)遠(yuǎn)地不可以符合要求。